第280章 检验 (上)(2/5)
把晶圆丢水裡光刻看似简单,但已经涉及到光刻机光源功率调整和工作台运行速率之间的协调,未来一台高精度光刻机的安装调整测试起码需要一年时间,虽然有海外故意设卡和工作效率不高的缘故,但也足以说明这玩意究竟会有多麻烦。
若没彻底吃透技术光这点调整就束手无策,如果依赖海外的技术人员丢水裡光刻这个秘密压根就没法保密。
这一白天的时间过去,一个经过审核的可靠技术小组已经成立,晶片的中试环节如果用互联网时代的说法来形容大约和不删档公测类似,除了不能上量和保持随时可以整改之外,和批量生產没什麼本质区别。
这次中试港基集电抽调了一条已经能正常运行的5微米生產线,临时用玻璃做了一个装载轻水的容器放在工作台上,技术大佬三人组一起上阵带著十多个技术人员调整了光刻机的功率,由於不需要批量生產的缘故,较为麻烦的工作台运行速率调整可以不动。
略去装轻水的设备除尘等环节不提,东西拉到科技园之后梁远和已经从学校回来的双胞胎先去食堂吃晚饭,然后回到科技园开始了进车间前的“消毒”步骤。
由於这次实验对环境的要求相当高的缘故,梁远和双胞胎都得穿最顶级的防尘服,带密封的玻璃护目镜整个头罩把脑袋都扣上呼吸都被器材过滤的那种。
一套除尘流程下来足足花掉了接近一小时,然后梁远三人才被允许进入到实验车间。
港基集电的生產车间普遍选择米色基调,连设备的涂装都是米色色系,只不过和周围环境深浅不同而已。
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