第280章检验（上）（5/5）

由於不需要把整个晶圆的面积全部生產利用上，光刻机曝光了十次就停止了工作，在电机的推动下工作台缓缓的从光刻机中退出，开始把晶圆向后续工艺推送。

曝光之后是显影，显影之后是坚膜，再之后工艺进入了检测程序，这步工艺是对晶圆的显影结果进行检测，合格的晶圆进入后续的刻蚀等流程，不合格的晶圆在清洗后进入最初流程重新来过。

不过对於实验室中的眾人来说，检测这一步几乎就足够判定新方法的生死了，在电子显微镜下成与不成一目瞭然。