第103章 选择（下）（3/5）

电子束物理气相沉积这个词语的基点在物理气相沉积这段词语上，而重点则是在电子束上。

物理气相沉积phy私alvordepo私tion，pvd起源于二十世纪早期，技术具体方式是在真空条件下，采用物理方法，将材料源固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）在基体表面沉积具有某种特殊功能薄膜的过程。

比如梁远搞出来的超导材料二硼化镁，最终进行工业级别的超导薄膜生产时。所采用的批量生产技术就是物理气相沉积。

物理气相沉积的方法实际上有许多种：真空蒸镀、溅射镀膜、电子束算是其中最先进的一种。

通过科学家多年的实践，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等材质。

重点的地方来了。航空发动机通过物理气相沉积技术在单晶涡轮叶片上沉积耐热的陶瓷层，集成电路行业则是使用该技术在晶圆上沉积导电金属。

如果更改电子束发射枪的性质功率，对工作环境，工作参数进行针对性修改之后，那么这套使用在单晶涡轮耐热涂层上的设备就会变成另外几种事物大名鼎鼎的等离子蚀刻设备、集成电路后期封装设备。