第二百四十三章 超紫外激光！波长1.5nm！功率2000w！（1）（2/5）

调整完毕的激光束，会穿过掩模版，进入物镜。

掩膜版也叫光罩，简单来说呢，它就是一块内部刻着线路设计图的玻璃板，给硅片曝光用的，你想要什么样的半导体设计线路，就定制什么样的掩膜版。

掩膜版的价格和精度成正比，国内海凸版，无锡华润，中微，深圳清逸，路维，十三所，五十五所，自动化所等等，都可以做这个东西。

目前，华夏已经把基础型掩膜版价格，砸成了白菜价，帝都微电子所的2u光刻板，只要一千两百块，南京55所的一千一百块，精度1u的板子五千块，无锡华润略贵，两千块起步，但板子做的确实漂亮。

而要是精度达到纳米级别的板子，那可就相当昂贵了，根据业内小道消息，苹果公司给旗下1型处理器定制的掩膜版，造价高达上百万美元。

掩膜版下方，是一种名为掩膜台的机械装置，它的作用是承载掩模版进行运动，控制精度为纳米级，为了达到苛刻的精确控制要求，长春光机所从昆仑集团采购了高精度极光电机。

在这套机台上，其实有很多技术和产品，都是来自昆仑集团，但最重要的部分，必须是掩膜台下方，巨大而又极端精密的物镜。

物镜由三十多块镜片组成，主要作用是把掩膜版上的电路图，按照比例缩小，再用激光映射的硅晶圆上，并且物镜还要主动补偿各种光学误差，控制曝光精度。

可以毫不夸张的说，物镜就是光刻机的心脏，如果物镜技术过关，哪怕掩膜技术差一点，光源功率弱一些，最终也能得到不错的结果。